华海清科集成电路高端装备研发及产业化项目举行奠基仪式

2023-07-03 00:05:03

　　江南app6月28日，华海清科股份有限公司（简称“华海清科”）集成电路高端装备研发及产业化项目奠基仪式在北京市亦庄举行。

　　华海清科董事长、首席科学家路新春致辞中表示，华海清科着力打造“装备+服务”双轮驱动的平台化发展战略，致力于为半导体领域企业提供先进设备及工艺集成解决方案。本项目由子公司华海清科（北京）科技有限公司负责，用于开展高端半导体设备研发及产业化，将进一步扩大公司生产经营规模。未来，华海清科将永葆赤子之心、奋斗之心，与各位股东、广大客户、合作伙伴们携手同行、共赢发展，合力打造完整、安全、可靠的产业链。

　　今年年初，华海清科发布公告称，公司全资子公司华海清科（北京）科技有限公司拟在北京经开区实施“华海清科集成电路高端装备研发及产业化项目”，合计投资金额8.18亿元。

　　据马驹桥镇政府官方发布平台“魅力马桥”消息，该项目位于北京通州马驹桥镇智能制造基地，主要涉及化学机械抛光（CMP）设备、减薄机的研发和产业化。项目达产后，将具备28纳米以下先进制程CMP设备研制能力，以及每月20万片12寸再生晶圆代工能力。