山东德州：聚链成势 “芯”产业攀高向强

2023-10-22 22:44:02

　　江南体育官网近日，山东有研刻蚀设备用硅材料及硅片扩产项目在德州正式开工。这两个项目的落地，将推动德州打造国内领先集成电路关键材料基地，并与已建成和在建的8英寸硅片、12英寸硅片、高纯溅射靶材项目“抱团发展”，将使山东省跻身硅材料产业国内第一方阵、靶材产业遥遥领先。

　　本次开工的刻蚀设备用硅材料及硅片扩产项目是有研半导体硅材料股份公司的上市募投项目。其中，刻蚀设备用硅材料项目总投资3.57亿元，主要生产大尺寸单晶硅部件加工品，项目达产后年新增硅材料204吨，年实现营业收入3.9亿元；8英寸硅片扩产项目总投资3.84亿元，全部达产后可实现年新增120万片8英寸硅片产品的生产能力，年均营业收入2.4亿元。

　　“集成电路是高端制造业的‘皇冠明珠’，此次开工的两个项目是我们践行有色金属行业‘国家队’使命的重要载体，将进一步推动德州打造国内领先集成电路关键材料基地。”中国有研科技集团有限公司党委委员、副总经理周旗钢说。

　　据介绍，刻蚀设备用硅材料项目生产的产品为集成电路刻蚀设备所用的硅部件，是集成电路生产过程中刻蚀工序的消耗性材料，产品的难度在于直拉硅单晶制备过程中的工艺稳定性、产品质量参数一致性等。8英寸硅片扩产项目的产品为集成电路用直径8英寸硅抛光片，是集成电路生产过程中的原料。“这两个项目的建成，将进一步拓宽公司的产品范围，提高公司的市场占有率。同时，全部建成后将实现产值6.3亿元，建成中国最大刻蚀设备用硅材料生产基地。”周旗钢说。

　　有研持续“加码”投资的背后，得益于德州良好的营商环境。“从项目审批，到快速解决建设中遇到的水电气等配套难题，再到有研员工团购价购房等，每一个细节都体现出德州真招实招留企稳企的决心和诚心。”山东有研半导体材料有限公司副总经理常青说。以硅单晶拉制为例，这是一个极其复杂的过程。在拉制过程中，要控制精确温度和拉速，对水、电和氩气等动力条件的供应稳定性要求非常严苛，最害怕的就是发生抖动和能源供应的不稳定。为保证能源供应的稳定性，德州为企业建设了专用变电站，实行双回路供电。

　　目前，德州天衢新区集聚电子信息规上企业达到36家，形成了以有研公司集成电路关键材料、威讯公司射频芯片封测为核心，鲲程电子公司芯片模组等“一核多元”的产业布局。2022年天衢新区电子信息（集成电路）产业实现总产值124.3亿元，是德州市唯一入选2022年省级战略性新兴产业的产业集群。

　　“眼下，我们大力延链补链强链，积极引进传感器芯片设计、半导体设备制造、芯片可靠性测试等项目，全部落地后，德州将形成包括关键材料、芯片设计、封装测试等在内的集成电路产业微集群，跻身一线半导体产业城市。”德州市委、天衢新区党工委祁小青说。（刘阳）